扫描电镜

一、工作原理及用途

扫描电镜利用电子束扫描样品表面从而获得样品信息的电子显微镜，它能产生样品表面的高分辨率图像，且图像呈三维，主要用于分析材料的微观形貌和微观尺寸。

扫描电镜除提供扫描图像外，同步配置EDS能谱议，还可以对样品物性进行定性和定量分析。

二、仪器性能及特点

型号规格：德国卡尔蔡司EVO18扫描电镜

性能特点：

1.分辨率高。二次电子像3.0nm（30kV，钨灯丝），背散射电子像4.5nm（30kV，钨灯丝）。

2.放大倍率宽，达到5x～1000kx。可利用低倍率观察样品全貌，高倍率检测微区细节。

3.图像景深好。提供的图像在样品深度方向上细节清楚，一幅两维图像可提供三维信息。